一种绝缘密封结构的MEMS电场传感器
基本信息
| 申请号 | CN201720830018.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207148228U | 公开（公告）日 | 2018-03-27 |
| 申请公布号 | CN207148228U | 申请公布日 | 2018-03-27 |
| 分类号 | G01R29/12 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨鹏飞;彭春荣;夏善红;吴双;刘宇涛 | 申请（专利权）人 | 南昌中科飞龙传感技术有限责任公司 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 北京中科飞龙传感技术有限责任公司;南昌中科飞龙传感技术有限责任公司 |
| 地址 | 100083 北京市海淀区成府路45号中关村智造大街C栋201号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种绝缘密封结构的MEMS电场传感器，包括：绝缘密封外壳，其内部为空腔结构；以及MEMS电场测量模块，设置在所述空腔结构内，用于探测外界电场。 |
