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一种链式PECVD镀膜工艺稳定性的检测方法

基本信息

申请号 CN202110714182.9 申请日 -
公开（公告）号 CN113539871A 公开（公告）日 2021-10-22
申请公布号 CN113539871A 申请公布日 2021-10-22
分类号 H01L21/66 分类 基本电气元件;
发明人 王红芳;徐卓;赵学玲;潘明翠;陈志军;田思;李锋;史金超;李倩 申请（专利权）人 英利能源发展有限公司
代理机构 石家庄国为知识产权事务所 代理人 张沙沙
地址 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种链式PECVD镀膜工艺稳定性的检测方法，该检测方法包括如下步骤：采取相同镀膜工艺下不同时间点完成的镀膜硅片，烧结得半成品；分别对半成品进行PL和隐性开路电压测试，或PL和饱和电流密度测试，或PL和隐性开路电压、饱和电流密度测试；根据测试结果评估不同时间点所述链式PECVD镀膜工艺的稳定性；其中，不同时间点的镀膜硅片前端各工序工艺保持一致；不同时间点中至少一个时间点选自整个镀膜工艺周期的0‑3/5时间段内；各半成品进行PL、隐性开路电压、饱和电流密度测试的条件保持一致。该检测方法通过对半成品进行测试，能够方便、快捷、直观地体现链式PECVD镀膜工艺稳定性，节约生产成本。