一种链式PECVD镀膜工艺稳定性的检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110714182.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113539871B | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN113539871B | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王红芳;徐卓;赵学玲;潘明翠;陈志军;田思;李锋;史金超;李倩 | 申请（专利权）人 | 英利能源发展有限公司 |
| 代理机构 | 河北国维致远知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种链式PECVD镀膜工艺稳定性的检测方法，该检测方法包括如下步骤：采取相同镀膜工艺下不同时间点完成的镀膜硅片，烧结得半成品；分别对半成品进行PL和隐性开路电压测试，或PL和饱和电流密度测试，或PL和隐性开路电压、饱和电流密度测试；根据测试结果评估不同时间点所述链式PECVD镀膜工艺的稳定性；其中，不同时间点的镀膜硅片前端各工序工艺保持一致；不同时间点中至少一个时间点选自整个镀膜工艺周期的0‑3/5时间段内；各半成品进行PL、隐性开路电压、饱和电流密度测试的条件保持一致。该检测方法通过对半成品进行测试，能够方便、快捷、直观地体现链式PECVD镀膜工艺稳定性，节约生产成本。 |
