一种用于靶材的旋转顶升系统及其工作方法
基本信息
| 申请号 | CN202111596673.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114045469A | 公开（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申请公布号 | CN114045469A | 申请公布日 | 2022-02-15 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘振波;茹钰婷;郭小勇;邢珍帅;赵启焕 | 申请（专利权）人 | 湖州爱康光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市扬子专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 隋玲玲 |
| 地址 | 313100浙江省湖州市长兴县煤山镇浙能智慧能源科技产业园浙江爱康光电科技有限公司厂区内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于靶材的旋转顶升系统及其工作方法，属于太阳能电池制造的技术领域。它包括旋转轴和顶升轴；所述旋转轴和顶升轴均设置在固定块内，所述旋转轴和顶升轴上均沿螺旋状排布设置有螺旋叶片，所旋转轴与顶升轴的螺旋叶片之间为啮合结构，并在固定块的内侧壁上设置有与螺旋叶片结构匹配的螺旋状卡齿；所述顶升轴的顶部设置靶材孔，所述靶材孔包括靶材放置位和顶升位；所述顶升位的内径与顶升轴相匹配；所述靶材放置位的内径大于顶升位，且与靶材相匹配；所述顶升位上方的一侧设置离子枪。本发明采用旋转顶升方式，在顶升靶材时，使靶材旋转上升，使靶材圆柱体旋转，各面都均匀燃烧，提高了靶材的利用率，还解决了透明导电膜色差问题。 |
