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用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置

基本信息

申请号 CN201711277075.4 申请日 -
公开（公告）号 CN107941279B 公开（公告）日 2019-12-03
申请公布号 CN107941279B 申请公布日 2019-12-03
分类号 G01D21/02 分类 测量；测试;
发明人 黄斌;李程伟;徐筱波;陈梅仙;张勇 申请（专利权）人 黄山市开发投资集团有限公司
代理机构 合肥金安专利事务所（普通合伙企业） 代理人 合肥工业大学;黄山市开发投资集团有限公司
地址 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置。包括二维滑动工作台、支架和底座；二维滑动工作台包括电机、纵向滑板、横向滑板和工作面板；二维滑动工作台安装在支架上，工作面板的工作面上设有微位移传感器、压力传感器、温度传感器、薄片振动传感器和薄片；在电机的作用下实现工作面板沿Z方向的移动；纵向滑板在横向滑板上实现沿X方向的移动；支架在底板上实现沿Y方向的移动；测量时，被测的测量气浮系统位于底座的支撑块上，且被测的测量气浮系统的气浮板的顶面对应着工作面板的工作面。本发明实现了气膜流场复杂三维流动各处的压力、振动、温度的测量，以及不同气膜厚度气膜流场的各参数测量问题。