一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置
基本信息
| 申请号 | CN201711139097.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107655788B | 公开（公告）日 | 2019-10-01 |
| 申请公布号 | CN107655788B | 申请公布日 | 2019-10-01 |
| 分类号 | G01N7/00;G01N33/38;G01N35/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄斌;陈梅仙;徐筱波;张勇 | 申请（专利权）人 | 黄山市开发投资集团有限公司 |
| 代理机构 | 合肥金安专利事务所（普通合伙企业） | 代理人 | 合肥工业大学 |
| 地址 | 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，包括气浮系统、正压进气测量装置和负压抽气测量装置。所述气浮系统由底板、节流板以及面板装贴合在一起组合而成。所述节流板上设置有若干对正压进气节流通道和负压出气节流通道，所述正压进气测量装置和负压抽气测量装置分别对正压进气节流通道和负压出气节流通道进行检测。本发明通过正压进气测量装置和负压抽气测量装置准确测量出节流板的节流参数，筛选出合格的节流板，提高玻璃基板检测的良品率；本发明对气浮系统的使用以及节流板的制造都有一定的指导意义。 |
