一种高压真空器件内部放电状态的检测方法

基本信息

申请号 CN201610774129.7 申请日 -
公开(公告)号 CN106226666B 公开(公告)日 2019-11-12
申请公布号 CN106226666B 申请公布日 2019-11-12
分类号 G01R31/12(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 刘斌; 张晓梅; 杨晓风; 陈帅; 冯家豪 申请(专利权)人 成都凯赛尔电子有限公司
代理机构 成都领航高智知识产权代理有限公司 代理人 成都凯赛尔电子有限公司
地址 610500 四川省成都市新都工业东区黄鹤路99号
法律状态 -

摘要

摘要 高压真空器件作为一种重要设备已成为工业发展不可或缺的一部分。一般高压真空器件都是封闭结构,无法直接判断内部情况。本发明利用根据高压真空器件在加高压条件下,内部零件有场致发射点或放电点,逸出的电子在电场作用下将会形成高速电子流轰击阳极端材料产生X射线这一特点,提供一种高压真空器件内部放电状态的检测方法,判断所测高压真空器件内部是否放电,并准确判断出放电点对应的位置。研发人员可通过此方法了解高压真空器件内部放电状态,通过改进生产工艺和器件结构,提高高压真空器件性能和质量。