一种柔性太阳能电池片铜铟镓硒共蒸法的硒源加热系统
基本信息
| 申请号 | CN201911206355.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110957392B | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN110957392B | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L31/032;C23C14/06;C23C14/26;C23C14/54 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 罗明新;王培双;任宇航 | 申请（专利权）人 | 尚越光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州知见专利代理有限公司 | 代理人 | 张华 |
| 地址 | 311121 浙江省杭州市余杭区五常街道余杭塘路1999号尚越绿谷中心1幢603室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种柔性太阳能电池片铜铟镓硒共蒸法的硒源加热系统，解决了目前铜铟镓硒共蒸法的硒源加热的热场不均匀，硒蒸气不稳定，膜层均匀性不佳、成分偏差，甚至无法用于制造电池问题。本装置包括内部装有硒源的硒盒，硒盒顶面开设有硒蒸气喷口，硒盒的顶面或者侧面顶部设有可开合的硒源加料口，其特征在于：所述硒盒的顶面上方贴设有加热器，环绕硒盒底面和所有侧面设有温控系统，温控系统的温度低于加热器温度。本发明对硒源采用上加热、下冷却的温控方法，硒蒸气从硒源上表面蒸发生成，生成的硒蒸气平稳，气压稳定、线性可控，大大提高了硒源蒸发的稳定性，提升产品质量。 |
