柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备
基本信息
| 申请号 | CN202011489439.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112695277A | 公开（公告）日 | 2021-04-23 |
| 申请公布号 | CN112695277A | 申请公布日 | 2021-04-23 |
| 分类号 | C23C14/26;C23C14/52;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/06;H01L31/18 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱路路;任宇航;罗明新;徐彩军 | 申请（专利权）人 | 尚越光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州知见专利代理有限公司 | 代理人 | 黄娟 |
| 地址 | 311121 浙江省杭州市余杭区五常街道余杭塘路1999号尚越绿谷中心1幢603室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种太阳能电池的处理设备。一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备，包括工艺腔，在工艺腔的两侧分别设有收卷腔和放卷腔，工艺腔、收卷腔和放卷腔上均连接有真空泵，待沉积热处理的薄膜依次经过放卷腔、工艺腔和收卷腔，在工艺腔和收卷腔之间设有升降门，在工艺腔和放卷腔之间也设有升降门。本发明提供了一种结构简单，不需要反复对沉积热处理腔进行抽真空，生产效率高的柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备结构；解决了现有技术中存在的沉积热处理时，需要反复进行抽真空，生产效率低的技术问题。 |
