一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构

基本信息

申请号	CN202011592354.1	申请日	-
公开（公告）号	CN112663019A	公开（公告）日	2021-04-16
申请公布号	CN112663019A	申请公布日	2021-04-16
分类号	C23C14/56;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54;H01L31/18	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	王培双;任宇航;罗明新;徐彩军	申请（专利权）人	尚越光电科技股份有限公司
代理机构	杭州知见专利代理有限公司	代理人	张华
地址	311121 浙江省杭州市余杭区五常街道余杭塘路1999号尚越绿谷中心1幢603室
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，解决CIGS共蒸法卷在高温、高腐蚀的非可视生产环境下，输送辊的异常会影响镀膜质量，且难以及时发现的问题。本装置包括真空腔，真空腔内设置放卷轴和收卷轴，放卷轴和收卷轴之间收放输送基底卷材，所述放卷轴和收卷轴之间设有若干输送辊，每一个输送辊的端部均沿轴向突出设置有半轴，所述半轴环周的一段是与输送辊同轴线的半径为R的圆柱面，半轴环周的其他位置与轴线的距离小于R，所述半轴一侧设有顶针，所述顶针的尖端与输送辊轴线距离为R。本发明通过半轴、顶针的配合结构将输送辊的转动周期信号转化为方波输出，通过方波周期及相位的分析，可以获取转速数据，检测输送辊的同步性。