一种CIGS共蒸法的红外测温装置及其测温控制方法
基本信息
| 申请号 | CN202011603770.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112525358B | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN112525358B | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | G01J5/02（2006.01）I;G01J5/08（2006.01）I;G05D23/20（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 罗明新;张卫彪;任宇航;詹华昭 | 申请（专利权）人 | 尚越光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州知见专利代理有限公司 | 代理人 | 张华 |
| 地址 | 311121浙江省杭州市余杭区五常街道余杭塘路1999号尚越绿谷中心1幢603室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种CIGS共蒸法的红外测温装置及其测温控制方法，解决CIGS共蒸法不锈钢卷基底测温需求的问题。本装置真空腔的上部作为沉积基底的不锈钢卷，不锈钢卷的上方设有加热器，不锈钢卷下方设有测温机构，测温机构包括密封的罩体，罩体上表面为高透玻璃板，罩体内设有朝上设置的探头，高透玻璃板上贴设有加热板，罩体与真空腔下壁之间设有走线管，走线管内穿设有连接探头的光纤，走线管上盘设有水冷盘管。本发明可以采用探入式的红外测温探头在近点对真空腔内的不锈钢卷进行测温控制利用加热板对罩体进行加热，避免硒蒸气沉积阻断测温光路，使本装置能持续稳定的对不锈钢卷沉积段进行温度监控，保障温控系统的稳定运行。 |
