高精度MEMS陀螺仪
基本信息
| 申请号 | CN201920307708.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209857909U | 公开（公告）日 | 2019-12-27 |
| 申请公布号 | CN209857909U | 申请公布日 | 2019-12-27 |
| 分类号 | G01C19/56（2012.01）; B81B7/02（2006.01） | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 苏岩 | 申请（专利权）人 | 苏州感测通信息科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人 | 苏州感测通信息科技有限公司 |
| 地址 | 215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02幢313室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型揭示了一种高精度MEMS陀螺仪，包括硅基底及两个质量块，两个所述质量块对称设置于所述硅基底上，还包括一干扰模态隔离结构，两个所述质量块均为框架结构、由质量块外框及质量块内框组合而成，两个所述质量块外框分别与所述硅基底上的锚点相连接，两个所述质量块内框借助所述干扰模态隔离结构相连接。本实用新型采用了一种组合梁式干扰模态隔离结构，将目前具有解耦框架和差分结构的MEMS陀螺仪的内框架进行了连接，从而提高了驱动模态与检测模态间的同向模态固有频率，使驱动模态与检测模态相邻，实现了隔离干扰模态的效果。 |
