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三轴谐振电容式微机电加速度计

基本信息

申请号 2020219660199 申请日 -
公开（公告）号 CN212410634U 公开（公告）日 2021-01-26
申请公布号 CN212410634U 申请公布日 2021-01-26
分类号 G01P15/125(2006.01)I;G01P15/097(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 苏岩 申请（专利权）人 苏州感测通信息科技有限公司
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人 姚姣阳
地址 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区02幢313室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型揭示了一种三轴谐振电容式微机电加速度计，包括由上至下按序层叠设置的上方盖板层、平面结构层以及下方基底层；平面结构层内包含有四组谐振式微加速度计，四组谐振式微加速度计以中心对称的方式设置、共同完成对水平方向上加速度的检测；上方盖板层及下方基底层二者内部均埋设有电极引线、作为固定基板，且上方盖板层及下方基底层二者与平面结构层中的敏感质量块共同构成差分电容式微加速度计、对完成垂直方向上加速度的检测。本实用新型通过采用面内谐振式检测X轴、Y轴，面外电容式检测Z轴，且三轴均采用差分检测的方式，使得三轴全解耦互不干扰，具有高精度、高稳定性、体积小、环境依赖性小等特点。