三轴MEMS陀螺仪
基本信息
| 申请号 | CN202010667627.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111693036A | 公开（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申请公布号 | CN111693036A | 申请公布日 | 2020-09-22 |
| 分类号 | G01C19/5656(2012.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 苏岩 | 申请（专利权）人 | 苏州感测通信息科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人 | 苏州感测通信息科技有限公司 |
| 地址 | 215123江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区13幢102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种三轴MEMS陀螺仪，结构包括基底以及四个质量块，四个质量块以中心对称的方式悬浮设置于基底上，还包括用于实现基底与质量块二者间连接的锚点结构、用于使质量块可沿正交方向振动的解耦连接梁结构以及用于实现角速度检测的梳齿结构；每块质量块均通过锚点结构悬挂于基底上，四块质量块之间通过解耦连接梁结构实现连接，梳齿结构布置于质量块内。本发明采用了一种对称式的四质量结构，其振动模态结合了音叉陀螺仪的高灵敏度和对称结构带来的小频差，兼具检测灵敏度高及角度增益大的优点。 |
