顶喷蚀刻机卡匣推进机构装置
基本信息
| 申请号 | CN201820495936.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208014661U | 公开（公告）日 | 2018-10-26 |
| 申请公布号 | CN208014661U | 申请公布日 | 2018-10-26 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曹乾;蒲中军;徐晓君;王川;吴华毅;宣继;李政昊;钟耀 | 申请（专利权）人 | 成都工投电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨春 |
| 地址 | 610512 四川省成都市新都区新都镇白云路789号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了顶喷蚀刻机卡匣推进机构装置，推进机构安装在清洗区，卡匣安装于蚀刻区且与喷嘴产生的酸雾接触，避免推进机构和蚀刻区喷嘴产生的酸雾接触，增加推进机构的使用寿命；推杆的另一端与卡匣的一端中部连接，使推进机构的受力位置均匀，延长推进机构的使用寿命；使用本装置后推进机构的使用寿命比单侧推进的使用寿命、抗腐蚀性增加3倍，比两侧推进机构制作成本减少了1倍。 |
