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顶喷式喷淋蚀刻机

基本信息

申请号 CN201610552271.7 申请日 -
公开（公告）号 CN106186712A 公开（公告）日 2016-12-07
申请公布号 CN106186712A 申请公布日 2016-12-07
分类号 C03C15/00(2006.01)I 分类 玻璃；矿棉或渣棉;
发明人 蒲中军;邓飞;徐晓君;吴华毅;王川;宣继;李政昊;郭继永;邓欢 申请（专利权）人 成都工投电子设备有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 610512 四川省成都市新都区新都镇白云路789号
法律状态 -

摘要

摘要 顶喷式喷淋蚀刻机，包括蚀刻机本体和药液循环系统，其中，蚀刻机本体主要由过渡区、清洗区及与蚀刻区组成，清洗区和蚀刻区上方均设置有喷淋装置，过渡区和清洗区下方设置有同步带传送装置，过渡区下方设置有伺服驱动电机，蚀刻机本体下方设置有贯穿过渡区、清洗区与和蚀刻区的滑轨，滑轨上放置蚀刻篮具，并由推杆将同步带传送装置连接联动，药液循环系统主要由DI水罐体、化学药液罐体、加热槽以及相应的管道、阀门以及循环泵组成；本发明在蚀刻玻璃面板的过程中，可以对药液的温度、压力、流量等实行全自动控制，对蚀刻玻璃面板实现双面瀑布流蚀刻，整个工作过程中，无需人工操作，清洗、蚀刻全部自动完成，蚀刻精度和效率得到显著提升。