首页/ 广东谛思纳为新材料科技有限公司/ 专利详情

一种新型电致变色薄膜的制作方法

基本信息

申请号 CN201910144105.7 申请日 -
公开（公告）号 CN109709737A 公开（公告）日 2019-05-03
申请公布号 CN109709737A 申请公布日 2019-05-03
分类号 G02F1/153（2006.01）I; G02F1/15（2019.01）I; C23C14/35（2006.01）I; C23C14/08（2006.01）I 分类 光学;
发明人 杨恢东; 夏锦辉; 李俊魁; 王菁; 彭斯冉; 张婧妍; 邵海平 申请（专利权）人 广东谛思纳为新材料科技有限公司
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 代理人 暨南大学; 广东谛思纳为新材料科技有限公司
地址 510630 广东省广州市天河区黄埔大道西601号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于电致变色无机薄膜技术，为电致变色薄膜的制作方法，步骤如下：洗净的透明导电材料置于磁控溅射腔室内，控制好溅射腔室的参数，控制好分子泵与真空溅射腔室之间的打通角度；对第一层膜生长的金属靶材进行预溅射处理，打开基片挡板进行第一层膜的溅射生长处理，控制溅射功率和时间，让第一层膜涨到合适厚度；在第一层无机电致变色薄膜的基础上进行第二层膜生长，对第二层膜溅射的金属靶材进行预溅射处理，控制让第二层膜涨到合适的厚度。本发明利用磁控溅射的方法，在第一层电致变色薄膜基础上涨一层具有电致变色性能的保护膜或良好离子传导能力的保护膜，以获得新型结构的电致变色薄膜，有效提高了单膜电致变色薄膜的电致变色性能。