一种喷头清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN201710295117.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107267956B | 公开（公告）日 | 2019-12-06 |
| 申请公布号 | CN107267956B | 申请公布日 | 2019-12-06 |
| 分类号 | C23C16/44（2006.01）; C23C16/18（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨兰; 赵阳; 王国行; 万林; 胡加辉 | 申请（专利权）人 | 华灿光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 徐立 |
| 地址 | 430223 湖北省武汉市东湖新技术开发区滨湖路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种喷头清洗方法，属于金属有机化合物化学气相沉淀技术领域。所述喷头清洗方法包括：配置清洗溶液，所述清洗溶液为NaOH溶液与H2O2的混合溶液；将所述喷头浸泡在所述清洗溶液内进行超声清洗；采用清水对所述喷头进行超声冲洗；采用N2或惰性气体吹扫所述喷头，然后再对所述喷头进行烘干。该清洗方法不会腐蚀喷头，而且能有效的清洗喷头，并可在短时间内恢复到量产的水平，有效降低了恢复量产的时间成本。 |
