一种涡流传感器
基本信息
| 申请号 | CN202210447738.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114705115A | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN114705115A | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | G01B7/06（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李坤;张康;李婷;张为强;尹影;田知玲;张杰 | 申请（专利权）人 | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种涡流传感器，控制模块触发波形生成模块产生使线圈模块谐振的正弦波形，线圈模块谐振生成电流信号；信号传输模块基于电流信号得到采样电压信号，信号传输模块对采样电压信号进行处理后发送至控制模块；控制模块根据接收处理后的采样电压信号，计算晶圆表面导电膜厚度值；线圈模块内部包括多个不同测量截面的线圈，在被测晶圆抛光过程中，对于抛光过程的每个阶段，将对应的测量截面的线圈切换至检测回路中，从而实现针对不同的测量过程进行时间分割，每个过程精确匹配电涡流传感器的最佳线性、分辨率参数。 |
