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一种晶圆缺口检测电路及装置

基本信息

申请号	CN202210302115.0	申请日	-
公开（公告）号	CN114690026A	公开（公告）日	2022-07-01
申请公布号	CN114690026A	申请公布日	2022-07-01
分类号	G01R31/311（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	于静;王文举;田知玲;廉金武;赵磊;郭益言	申请（专利权）人	北京晶亦精微科技股份有限公司
代理机构	北京三聚阳光知识产权代理有限公司	代理人	-
地址	100176北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种晶圆缺口检测电路及装置，该电路包括：发射电路和接收电路，发射电路包括预设个数的发光电路，接收电路包括和发光电路对应设置的预设个数的发光检测电路，每个发光电路和发光检测电路分别用于检测不同规格的晶圆，且分别设置在待测晶圆的两侧；发光电路发出红外光信号照射至待测晶圆边缘，发光检测电路接收经过待测晶圆的红外光信号，生成晶圆缺口模拟检测信号输出。通过实施本发明，在发射电路中设置发光电路，在接收电路中设置发光检测电路，由发光检测电路对发光电路发出的红外光信号进行检测生成晶圆缺口模拟检测信号，从而可以实现对晶圆缺口的检测。发光电路和发光检测电路设置多个，实现了对多种不同规格的晶圆进行检测。