一种厚度测量系统、方法、电子设备及存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202210330645.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114664685A | 公开（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申请公布号 | CN114664685A | 申请公布日 | 2022-06-24 |
| 分类号 | H01L21/66（2006.01）I;G01B7/06（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张康;李坤;李婷;张为强;尹影;崔云承;吴燕林 | 申请（专利权）人 | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种厚度测量系统、方法、电子设备及存储介质，该系统包括：涡流传感器、驱动电路、采样反馈电路和控制单元，涡流传感器包括第一抽头和多个第二抽头；驱动电路接收外部输入的控制指令，根据控制指令生成振荡电流，驱动电路连接涡流传感器，涡流传感器根据振荡电流生成交变磁场，根据交变磁场感应待测样品生成反馈值；采样反馈电路采集涡流传感器的反馈值，将反馈值输入至控制单元，控制单元根据反馈值的变化控制涡流传感器档位的切换。本发明公开的系统，通过在涡流传感器中设置多个第二抽头，可使样品不同厚度时能够匹配到线性度与分辨率最佳的谐振频率与并联电容，从硬件上实现宽厚度范围内的阻抗匹配和频率选择。 |
