一种晶圆调度控制方法、装置、存储介质及电子设备

基本信息

申请号 CN202210417998.X 申请日 -
公开(公告)号 CN114723310A 公开(公告)日 2022-07-08
申请公布号 CN114723310A 申请公布日 2022-07-08
分类号 G06Q10/06(2012.01)I;G06Q50/04(2012.01)I 分类 计算;推算;计数;
发明人 杨元元;周庆亚;高跃昕;侯为萍;杨旭 申请(专利权)人 北京晶亦精微科技股份有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆调度控制方法、装置、存储介质及电子设备,通过获取模块状态,然后根据模块状态向模块发送消息指令,通过消息指令控制模块进行状态切换完成功能,实现晶圆传输和加工,能够避免不必要的查询,降低主机资源占用率,提升系统稳定性。