一种晶圆调度控制方法、装置、存储介质及电子设备
基本信息
申请号 | CN202210417998.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114723310A | 公开(公告)日 | 2022-07-08 |
申请公布号 | CN114723310A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
分类号 | G06Q10/06(2012.01)I;G06Q50/04(2012.01)I | 分类 | 计算;推算;计数; |
发明人 | 杨元元;周庆亚;高跃昕;侯为萍;杨旭 | 申请(专利权)人 | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种晶圆调度控制方法、装置、存储介质及电子设备,通过获取模块状态,然后根据模块状态向模块发送消息指令,通过消息指令控制模块进行状态切换完成功能,实现晶圆传输和加工,能够避免不必要的查询,降低主机资源占用率,提升系统稳定性。 |
