用于真空炉的高纯氮气储罐的洗罐结构

基本信息

申请号 CN202121790368.4 申请日 -
公开(公告)号 CN215722497U 公开(公告)日 2022-02-01
申请公布号 CN215722497U 申请公布日 2022-02-01
分类号 F17C6/00(2006.01)I;F17C13/00(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 程马勇 申请(专利权)人 江苏石川岛丰东真空技术有限公司
代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 王雪莎
地址 224100江苏省盐城市大丰市经济开发区南翔西路333号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种用于真空炉的高纯氮气储罐的洗罐结构,涉及氮气储罐洗罐的技术领域。用于真空炉的高纯氮气储罐的洗罐结构包括氮气储气罐、真空炉和真空泵组;氮气储气罐通过第一管组与真空泵组连接,真空炉通过第二管组与真空泵组连接,氮气储气罐通过第三管组与真空炉连接;氮气储气罐上设置有氮气进气管组和氮气排气管组;真空炉上设置有真空计。达到了减小洗罐氮气消耗的技术效果。