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一种晶圆烘干机

基本信息

申请号 CN202020523358.3 申请日 -
公开（公告）号 CN212205524U 公开（公告）日 2020-12-22
申请公布号 CN212205524U 申请公布日 2020-12-22
分类号 F26B15/18(2006.01)I 分类 干燥;
发明人 黄雷;刘恒奎 申请（专利权）人 成功环保科技（南通）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215334江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号1号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆烘干机，包括底座一，所述底座一的一侧设置有底座二，所述底座一的顶部中间位置与所述底座二的顶部中间位置分别均开设有凹槽，两个所述凹槽之间通过传输带连接，所述传输带的上方且位于所述底座一的顶端设置有烘干室，所述传输带的上方且位于所述底座二的顶端设置有壳体；其中，所述壳体的顶端均匀设置有若干冷风送风装置，所述壳体内侧且位于所述底座二的顶端均匀设置有若干温度传感器，所述温度传感器的上方且位于所述壳体的内壁上均匀设置有若干活动装置。有益效果：一方面扩大了的冷风的吹拂面积；同时，在壳体内进行降温处理，降低了冷风与室外温度的温度交换，进而提高晶圆的降温效率。