一种节能型半导体晶圆清洗机
基本信息
| 申请号 | CN202020523354.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212264015U | 公开（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申请公布号 | CN212264015U | 申请公布日 | 2021-01-01 |
| 分类号 | B08B3/10(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 黄雷;周伟 | 申请（专利权）人 | 成功环保科技（南通）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215334江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号1号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种节能型半导体晶圆清洗机，包括壳体，所述壳体的下方设置有清洗壳，所述清洗壳的一侧且位于所述壳体的下方设置有机壳；其中，所述壳体的底端开设有安装腔，所述安装腔的中间位置设置有凸起块，所述安装腔的内部设置有传动链，所述传动链的底端对称设置有一组安装柱，所述壳体的顶端设置有与所述传动链相配合的传动电机，所述传动链的底端均匀设置有若干气缸，所述气缸的伸缩杆上设置有安装板，所述安装板的底端均匀设置有若干安装夹；其中，所述清洗壳的内部设置有驱动机构，所述清洗壳的一侧顶部开设有进料。有益效果：大大的提高了风干与吸尘的效率，同时减少了电力的损耗。 |
