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一种晶圆吸取装置

基本信息

申请号 CN202020523357.9 申请日 -
公开（公告）号 CN211605122U 公开（公告）日 2020-09-29
申请公布号 CN211605122U 申请公布日 2020-09-29
分类号 H01L21/683(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李云华;尹伟 申请（专利权）人 成功环保科技（南通）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215334江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号1号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆吸取装置，包括封装机的传送台，传送台的顶端放置有工件，工件的下方设置有顶升板，顶升板的左侧设置有接触式传感器，顶升板的底端中心位置设置有气缸一，传送台的顶端一侧设置有机架，机架的顶部对称设置有滑轨，两滑轨之间设置有丝杆，丝杆的一端连接有伺服电机，滑轨上滑动连接有拖板，且拖板与丝杆螺纹连接；拖板的顶部设置有行程气缸，拖板上开设有燕尾滑槽，燕尾滑槽内滑动连接有滑块，滑块的顶端与行程气缸的活塞固定连接。有益效果：结构紧凑，采用双保险的设计，可以有效防止晶圆吸取过程中发生掉落的情况出现，同时减少了夹具在吸取晶圆时对晶圆的冲击，以保证晶圆完好无损。