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一种晶圆涂胶机

基本信息

申请号 CN202020531153.X 申请日 -
公开（公告）号 CN212596775U 公开（公告）日 2021-02-26
申请公布号 CN212596775U 申请公布日 2021-02-26
分类号 B05C5/02(2006.01)I;B05B15/55(2018.01)I;B08B5/02(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 黄雷;谷建华 申请（专利权）人 成功环保科技（南通）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215334江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号1号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆涂胶机，包括滴胶喷嘴，滴胶喷嘴的下方设置有外罩，外罩的内侧底部设置有升降器，升降器的顶端设置有驱动环，驱动环的顶端设置有与其相配合的内罩，内罩的内部且位于滴胶喷嘴的下方设置有晶圆，晶圆的底端设置有底座，底座与内罩从左至右依次设置有干燥喷嘴与清洗喷嘴，干燥喷嘴远离内罩的一侧与清洗喷嘴远离内罩的一侧分别均设置有活动机构；其中，活动机构包括与干燥喷嘴连接的支撑柱，支撑柱的底端设置有支撑座，支撑柱的顶部套设有圆柱齿轮，支撑柱的两侧且位于圆柱齿轮的下方设置有角度传感器。有益效果：通过设置本实用新型，进而提高清洗与干燥的效率。