铝基材直接化学镀铜的溶液及其应用方法
基本信息
申请号 | CN202011450148.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112593219A | 公开(公告)日 | 2021-04-02 |
申请公布号 | CN112593219A | 申请公布日 | 2021-04-02 |
分类号 | C23C18/40(2006.01)I;C23C18/18(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 王江锋;刘可 | 申请(专利权)人 | 成功环保科技(南通)有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 215334江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号1号厂房 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种铝基材直接化学镀铜的溶液及其应用方法,该溶液包括以下质量浓度百分比的组分:铜盐5‑15g/L、亚硫酸盐20‑60g/L、络合剂10‑50g/L、还原剂10‑30g/L、缓冲剂10‑50g/L、缓蚀剂0.05‑0.5g/L、表面活性剂0.05‑0.1g/L和余量的水;将上述组分按照配比均匀混合后,用缓冲剂调节pH至7.0‑8.0后形成镀铜溶液。本发明的铝基材直接化学镀铜的溶液,解决了传统镀铜腐蚀铝的问题,和镀液攻击光刻胶的问题。在晶圆级封装领域,可以完全替代真空镀铜,降低成本,提高生产率。 |
