汽车玻璃立式多腔共形复合膜系连续磁控溅射生产设备专利查询专利号|摘要-满商公司网

汽车玻璃立式多腔共形复合膜系连续磁控溅射生产设备

基本信息

申请号	CN201620442691.5	申请日	-
公开（公告）号	CN205741205U	公开（公告）日	2016-11-30
申请公布号	CN205741205U	申请公布日	2016-11-30
分类号	C23C14/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	庄志杰;周钧	申请（专利权）人	赛柏利安工业技术（苏州）有限公司
代理机构	上海申新律师事务所	代理人	郭春远
地址	215024 江苏省苏州市工业园区港田路99号港田工业坊18号厂房一楼
法律状态	-

摘要

汽车玻璃立式多腔共形复合膜系连续磁控溅射生产设备,通过在进料段和出料段分别对称布置初抽低真空腔体组、中真空腔体组和高真空腔体组以前后衔接中段布置的多部薄膜溅射沉积腔体组支持生产线，同时合理控制温度和玻璃的输送速度，完成对汽车玻璃的连续磁控溅射镀膜工艺，从而在玻璃基片形成复合介质膜层，尤其适用于制备全介质膜系阳光选择节能玻璃，整个镀膜过程连续化生产，工艺可控，生产效率和产品合格率较高；具有成本低、膜层材料与基体玻璃结合牢、耐侯性强，无废气产生等优势；有益于推广应用。沉积薄膜后的玻璃的可见光透过率为大于76％，整个风挡玻璃面无明显的光学色差，光学畸变小于3′，具有极高的抗酸耐碱性和耐磨性，因此具有较长的使用寿命。