一种二极管用玻璃钝化工艺
基本信息
| 申请号 | CN201811441797.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109616411A | 公开（公告）日 | 2019-04-12 |
| 申请公布号 | CN109616411A | 申请公布日 | 2019-04-12 |
| 分类号 | H01L21/306;H01L21/56;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴强德 | 申请（专利权）人 | 嘉兴实新企业服务有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 314001 浙江省嘉兴市南湖区耀城广场11、12幢11-301室-137 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种二极管用玻璃钝化工艺，以玻璃为钝化材料，包括晶圆涂附，晶圆切割，晶粒酸洗，配制玻璃浆用溶剂，配制玻璃浆，晶粒接点面钝化，本发明有益效果在于，利用低温缓慢酸洗腐蚀来保证切割面的正角，常规的开沟腐蚀会造成切割面的负角及一定角度的倾斜坡度，无法完成钝化玻璃的包封，即使包封成功，良品率及可靠性能都会很低。 |
