一种二维MEMS微镜
基本信息
| 申请号 | CN202220234690.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216956522U | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN216956522U | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | G02B26/08（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 陈巧;张程浩;陈亮;刘洪琼;刘运兵 | 申请（专利权）人 | 苏州知芯传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 215124江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种二维MEMS微镜，该二维MEMS微镜包括镜面、框架、驱动装置、转轴，采用框架悬置，内部键合的结构，该结构可获得更大的静电力矩，使镜面具有更大的转角，且不需要电隔离槽，不需要多次梳齿刻蚀，该二维MEMS微镜的生产工艺简单，良品率高，生产成本低。 |
