一种微镜及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201910406378.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110031966B | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN110031966B | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | G02B26/08（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 陈巧 | 申请（专利权）人 | 苏州知芯传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 党丽;王宝筠 |
| 地址 | 215002江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区20幢509室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种微镜包括质量块、质量块上的镜面反射层、支撑结构和驱动单元对，驱动单元对沿质量块的一个对称轴对称设置，且驱动单元对中的每个驱动单元包括沿质量块的另一对称轴对称设置的一对驱动臂，驱动臂由U型折叠梁、U型折叠梁上的多个压电驱动块以及U型折叠梁的自由端上的两连接端，通过连接端将驱动臂固定于质量块以及支撑结构上。这样，构成了呈对称布置的微机电微镜，其通过压电驱动方式对镜面层进行驱动，无需扭转梁的支撑，减小驱动力的损耗，使得微镜具有更大的扫描角度，此外，U型折叠梁的横梁上设置多个压电驱动块，通过不同驱动块的压电控制，可以限制微镜面外的平动，进一步增大微镜扫描角度，并增强系统稳定性。 |
