一种精简工艺的微镜芯片
基本信息
| 申请号 | CN201920787734.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210366974U | 公开（公告）日 | 2020-04-21 |
| 申请公布号 | CN210366974U | 申请公布日 | 2020-04-21 |
| 分类号 | B81B5/00;B81C1/00 | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 陈巧 | 申请（专利权）人 | 苏州知芯传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 田凌涛 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种精简工艺的微镜芯片，采用SOI硅片，驱动器布置于第三层，质量块与转轴布置在第一层，第二层布置支持结构，其中驱动器采用面内驱动器结构，可以实现面内驱动，通过中层支撑结构产生面外驱动转矩，带动质量块运动，可以实现快速扫描和大角度扫描驱动结构；该结构工艺上利于实现，不挑战工艺难点，可以大大简化面外运动加工难度，实现大角度，大质量块驱动；相对于多层机构的MEMS省去了多次键合的工艺，简化了制造工艺，大大降低加工成本和加工难度，提高成品率。 |
