一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜及制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202111339245.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113960782A | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN113960782A | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | G02B26/08（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 张程浩;陈巧;陈敏 | 申请（专利权）人 | 苏州知芯传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 田凌涛 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜及制造方法，包括衬底（1）、镜面（2）、定梳齿装置、两组动梳齿装置和两个压阻模块（3），通过压阻模块（3）上所设各金属电极（6）与对应扭转梁（4）之间惠斯通电桥的建立与应用，应用惠斯通电桥所具备检测应力变化的能力，以及镜面（2）的扭转角度与扭转梁（4）端部应力间的正比关系，实现对扭转梁（4）端部应力变化情况的检测，最终获得MEMS静电微镜的镜面（2）偏转角度，拥有直接检测高速旋转镜面（2）角度的优点，整个设计方案具有实时、连续检测微镜镜面（2）运动状态的优点，同时整个结构封装尺寸小、结构紧凑，更加节省成本。 |
