一种双向驱动微镜芯片

基本信息

申请号 CN201921569341.5 申请日 -
公开(公告)号 CN210639349U 公开(公告)日 2020-05-29
申请公布号 CN210639349U 申请公布日 2020-05-29
分类号 G02B26/08;G02B26/10 分类 光学;
发明人 陈巧 申请(专利权)人 苏州知芯传感技术有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 田凌涛
地址 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种双向驱动微镜芯片,克服现有技术中采用两层梳齿结构,只能单向驱动,使得微镜受力不对称、无法完全绕中心轴转动的问题,应用全新设计结构,拥有上中下三层梳齿结构,为微镜提供双向驱动力,使得被驱动对象的受力完全对称,获得更加优良的微镜扫描效果。