一种双向驱动微镜芯片
基本信息
申请号 | CN201921569341.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210639349U | 公开(公告)日 | 2020-05-29 |
申请公布号 | CN210639349U | 申请公布日 | 2020-05-29 |
分类号 | G02B26/08;G02B26/10 | 分类 | 光学; |
发明人 | 陈巧 | 申请(专利权)人 | 苏州知芯传感技术有限公司 |
代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 田凌涛 |
地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种双向驱动微镜芯片,克服现有技术中采用两层梳齿结构,只能单向驱动,使得微镜受力不对称、无法完全绕中心轴转动的问题,应用全新设计结构,拥有上中下三层梳齿结构,为微镜提供双向驱动力,使得被驱动对象的受力完全对称,获得更加优良的微镜扫描效果。 |
