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一种混合驱动的二维MEMS微镜

基本信息

申请号	CN202022842341.7	申请日	-
公开（公告）号	CN213987028U	公开（公告）日	2021-08-17
申请公布号	CN213987028U	申请公布日	2021-08-17
分类号	G02B26/08（2006.01）I	分类	光学;
发明人	陈巧	申请（专利权）人	苏州知芯传感技术有限公司
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	田凌涛
地址	215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种混合驱动的二维MEMS微镜，采用全新驱动结构设计，将压电驱动结构和静电驱动结构相结合，实现了混合驱动操作，其中设计基于环形外衬底（1），应用静电驱动结构实现对环形内衬底（2）的驱动，并进一步应用环形内衬底（2）与镜面支撑（3）之间的压电驱动结构，获得对镜面支撑（3）的驱动，驱动电极通过转轴引出，如此实现了混合驱动操作，整个结构能够有效提高驱动效率，并使的驱动角度变大；同时本实用新型还进一步设计了针对此二维MEMS微镜的制作方法，采用制作工艺，仅需要SOI圆片作为基底层，便可以加工获得所设计的二维MEMS微镜，整个制作过程工艺简单，成品率高，同时整体结构尺寸也会降低，成本得到降低。