一种MEMS开关
基本信息
| 申请号 | CN201920787732.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211111040U | 公开（公告）日 | 2020-07-28 |
| 申请公布号 | CN211111040U | 申请公布日 | 2020-07-28 |
| 分类号 | B81B7/02(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 陈巧 | 申请（专利权）人 | 苏州知芯传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 田凌涛 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种MEMS开关，应用桥式结构，在驱动力作用下，使开关的中间部分产生最大位移，进而将接触区域设计为面接触，取消了现有技术中的点接触设计，由此避免点接触的缺点，获得了更高的MEMS开关工作效率，与此同时，针对所设计MEMS开关，具体设计对应其的制作方法，采用键合工艺方案，大大减小工艺复杂度，减小粘附，有效提高了成品率。 |
