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激光扫描显微测量装置及其方法

基本信息

申请号 CN202110599094.9 申请日 -
公开（公告）号 CN113189757A 公开（公告）日 2021-07-30
申请公布号 CN113189757A 申请公布日 2021-07-30
分类号 G02B21/00（2006.01）I;G02B21/06（2006.01）I;G02B21/36（2006.01）I 分类 光学;
发明人 赵裕兴;王承伟;徐海宾 申请（专利权）人 苏州德龙激光股份有限公司
代理机构 江苏圣典律师事务所 代理人 王玉国
地址 215021江苏省苏州市工业园区杏林街98号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及激光扫描显微测量装置及方法，激光器的输出光路上布置半反半透镜，半反半透镜的反射光路上依次布置振镜和扫描物镜，透射光路上布置检测模组；激光器发出激光，经半反半透镜入射到振镜中，振镜控制激光二维偏转，经扫描物镜后，聚焦于三维位移台上的样品上，激光入射到样品后发生反射，返回扫描物镜和振镜，再经半反半透镜后进入检测模组；检测模组获取不同X‑Y‑Z坐标下的图像，以单个或多个CCD元件作为虚拟针孔，获取每幅图像中光强最大的虚拟针孔区域的光强，获得不同X‑Y‑Z坐标下的光强值，得到任意X‑Y坐标下最大光强对应的Z坐标，即得到X‑Y平面的深度分布，测量出划痕、粗糙度的表面形貌信息。