镀膜脆性材料的激光加工装置及其方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

镀膜脆性材料的激光加工装置及其方法

基本信息

申请号	CN202110608629.4	申请日	-
公开（公告）号	CN113146072A	公开（公告）日	2021-07-23
申请公布号	CN113146072A	申请公布日	2021-07-23
分类号	B23K26/38（2014.01）I;B23K26/064（2014.01）I;B23K26/06（2014.01）I;B23K26/067（2006.01）I	分类	机床；不包含在其他类目中的金属加工;
发明人	赵裕兴;田超	申请（专利权）人	苏州德龙激光股份有限公司
代理机构	江苏圣典律师事务所	代理人	王玉国
地址	215021江苏省苏州市工业园区杏林街98号
法律状态	-

摘要

本发明涉及镀膜脆性材料的激光加工装置及方法，激光器的输出光路上依次布置有半波片和分光立方体；分光立方体的原方向出射的P光光路布置有第一反射镜、聚焦镜、第一衍射镜、第二反射镜，第二反射镜的反射光路与偏振分光合束镜相对；分光立方体的垂直方向出射的S光光路布置有第二衍射镜，第二衍射镜的输出光路与偏振分光合束镜相对；偏振分光合束镜的输出光路布置有物镜，物镜正对于加工平台。从偏振分光合束镜出射的P光实现成丝切割，从偏振分光合束镜出射的S光实现环形光斑刻蚀；通过转动半波片可以调节P光和S光的比例，调节刻蚀和成丝切割所需的激光能量；同时进行环形光斑刻蚀和成丝切割加工，为镀膜后的脆性材料切割提供集成解决方法。