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多光束快速蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置及其方法

基本信息

申请号 CN202110599991.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113146060A 公开（公告）日 2021-07-23
申请公布号 CN113146060A 申请公布日 2021-07-23
分类号 B23K26/362（2014.01）I;B23K26/08（2014.01）I;B23K26/067（2006.01）I;B23K26/0622（2014.01）I;B23K26/03（2006.01）I;B23K26/064（2014.01）I 分类 机床；不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 赵裕兴;刘彬 申请（专利权）人 苏州德龙激光股份有限公司
代理机构 江苏圣典律师事务所 代理人 王玉国
地址 215021江苏省苏州市工业园区杏林街98号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及多光束快速蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置及方法，包括间隔并列平行设置的多个光束系统，每一光束系统沿光路方向依次包含：激光器，产生激光脉冲；扩束镜，用于光束扩大和滤波；上反射镜，用于改变光束方向；下反射镜，用于改变光束方向；振镜扫描系统，用于控制光束偏转；聚焦场镜，用于光束聚焦；每一光束系统的激光器、扩束镜和上反射镜均安装于光学平台架上，每一光束系统的下反射镜、振镜扫描系统和聚焦场镜安装于Z轴运动单元上，Z轴运动单元连接于光学平台架上；聚焦场镜下方设有Y轴运动单元，吸附平台置于Y轴运动单元上。根据需求自由选择光束数量，固定式拼接方式，效率、精度和稳定性较优。