非对称分束激光加工透明材料的装置及其方法

基本信息

申请号 CN202110423923.8 申请日 -
公开(公告)号 CN112975113A 公开(公告)日 2021-06-18
申请公布号 CN112975113A 申请公布日 2021-06-18
分类号 B23K26/00;B23K26/06;B23K26/064;G02B27/09 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 赵裕兴;郭良 申请(专利权)人 苏州德龙激光股份有限公司
代理机构 江苏圣典律师事务所 代理人 王玉国
地址 215021 江苏省苏州市工业园区杏林街98号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及非对称分束激光加工透明材料的装置及其方法,依光束传播方向设置有:激光光源,可输出宽度小于300纳秒、波长在343~2000纳米范围脉冲激光;传输系统,对从激光光源输出的激光光束扩束、反射;整形系统,将光束截面能量为高斯分布的激光光束转换为贝塞尔分布,形成贝塞尔光束;分束系统,为具有至少两个楔形面结构的楔形棱镜,每个楔形面相对于光轴的夹角不同,将激光光束分割为至少两个部分,形成至少两束贝塞尔光束;聚焦系统,对至少两束贝塞尔光束缩小汇聚成像聚焦。利用非对称楔形镜片将贝塞尔光束分割成至少两束,并利用贝塞尔光束的自重建特性,经聚焦装置汇聚成至少两个焦点;不仅提升加工效率,还显著降低成本。