应用于LOW-K开槽设备的三轴联动精密平台
基本信息
| 申请号 | CN201822198994.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209169121U | 公开（公告）日 | 2019-07-26 |
| 申请公布号 | CN209169121U | 申请公布日 | 2019-07-26 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I; H01L21/687（2006.01）I; H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 邱鸿毅; 施心星; 李斌 | 申请（专利权）人 | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区04幢102、202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种应用于LOW‑K开槽设备的三轴联动精密平台，包括有限位底座，限位底座通过主连接板连接Y轴运动装置，Y轴运动装置通过副连接板连接X轴运动装置，X轴运动装置通过铝板底座安装有旋转θ轴运动装置。由此，采用大理石底座，吸震性能良好，对加工中的应力变形较小，保证了导轨安装的平面度要求。运转的定位精度高，误差在1UM内。可以实现X、Y、θ三轴的运转调节，满足多角度、多空间的加工需要。整体构造简单，易于装配与维护，能够与目前常见的各类加工平台相匹配使用。 |
