非接触式高度补偿装置
基本信息
| 申请号 | CN201822205860.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209016042U | 公开（公告）日 | 2019-06-21 |
| 申请公布号 | CN209016042U | 申请公布日 | 2019-06-21 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I; H01L21/68（2006.01）I; H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 邱鸿毅; 施心星; 张文; 李斌 | 申请（专利权）人 | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区04幢102、202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种非接触式高度补偿装置，包括有衔接定位支架，衔接定位支架上安装有Z轴引导组件，Z轴引导组件上设置有多轴调节装置，多轴调节装置上安装有加工平台，加工平台上安装有传感器，传感器上设置有数据处理装置，衔接定位支架上安装有Z轴驱动装置，Z轴驱动装置的工作端与多轴调节装置相连，多轴调节装置为XY轴双向驱动装置，包括有X轴导轨，X轴导轨上安装有X轴滑块，X轴滑块上连接有X轴驱动装置，X轴滑块上安装有Y轴导轨，加工平台的底部与Y轴导轨相连，加工平台上连接有Y轴驱动装置。由此，能够实现三轴的高精度调节，无需人工进行检测干预。 |
