自动定位式上下设备
基本信息
| 申请号 | CN201822206087.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209478651U | 公开（公告）日 | 2019-10-11 |
| 申请公布号 | CN209478651U | 申请公布日 | 2019-10-11 |
| 分类号 | B28D7/04;B24B41/06;B24B41/00 | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 施政;施心星;李斌 | 申请（专利权）人 | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区04幢102、202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种自动定位式上下设备，包括有底座，底座上安装有晶圆夹取装置，晶圆夹取装置上连接有晶圆定位装置，晶圆夹取装置的一侧安装有料盒升降装置，晶圆定位装置上还连接有晶圆转移装置。由此，带有自动定位装置，能将运输中的晶圆准确定位放置到加工位和料盒中。整体构造简单，一体性好，无需占用较大的设备空间。能够与目前常规的晶圆加工设备匹配使用，泛用性较好。 |
