一种真空电浆成型腔体设备

基本信息

申请号 CN202110268555.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113005421A 公开(公告)日 2021-06-22
申请公布号 CN113005421A 申请公布日 2021-06-22
分类号 C23C14/54;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/52 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 裴孝怀;钟智敏;刘伟;陈波 申请(专利权)人 科大智联(上海)技术有限公司
代理机构 合肥天明专利事务所(普通合伙) 代理人 娄岳
地址 201619 上海市松江区桐泾镇长兴东路1586号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及镀膜设备技术领域,公开了一种真空电浆成型腔体设备,包括内部中空的腔体、与腔体连通的进气管道、用于在进气管道内的空气进入腔体前依次进行过滤的滤板,以及设置在腔体内的放电装置和工件;所述滤板至少有三个且每个滤板上均设置有滤孔;在沿空气流动的方向上,滤板的滤孔数量逐渐增多,且滤孔的孔径逐渐减小。