用于加热腔的驱动设备
基本信息
| 申请号 | CN202020979519.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212643465U | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN212643465U | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | F16H57/04(2010.01)I;C23C16/50(2006.01)I;F16H25/22(2006.01)I;F16J3/04(2006.01)I;F16C3/02(2006.01)I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 杨飞云;李朋 | 申请（专利权）人 | 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201620上海市松江区思贤路3255号3幢403室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供用于加热腔的驱动设备。所述驱动设备包括基板、连接在基板上的导向轴、容纳导向轴穿过且能沿着导向轴运动的驱动板，所述驱动板在加热腔中经受的第一温度高于所述基板在加热腔中经受的第二温度，所述基板由不锈钢制成，所述驱动板由不胀钢制成。本实用新型能减小导向轴的两端所连接的过渡板和基板之间的热膨胀差异，能有效解决导向轴磨损及卡死问题，并能有效降低驱动马达输出的扭矩。 |
