托盘预热腔
基本信息
| 申请号 | CN202021965379.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212648265U | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN212648265U | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | C23C16/50(2006.01)I;H01L31/0747(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马哲国;杨华新;陈金元 | 申请（专利权）人 | 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄3号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种托盘预热腔。该预热腔包括：托盘预热模块，其包括预热框架、水平分层设置在预热框架中的多层预热板、以及驱动预热框架上下移动的第一驱动模块；托盘顶推模块，其包括顶推框架、水平分层设置且在预热板下侧的多层顶推板、以及设置在预热框架的预热基座上驱动顶推框架上下移动的第二驱动模块；以及控制模块，其控制第一驱动模块驱动预热框架及预热板在第一和第二位置之间移动、以将间隔设置的第一或第二组预热板与传送托盘进出的托盘传送位相对准，还在将托盘传进或传出预热腔时控制第二驱动模块驱动顶推框架带动其顶推板从回缩等待位向上移动到顶推支撑位，并在托盘被放置至顶推杆上、或托盘被取走后向下驱动到回缩等待位。 |
