太阳能电池成膜用托盘
基本信息
| 申请号 | CN202023138850.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213583724U | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN213583724U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 耿茜;王慧慧 | 申请（专利权）人 | 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄3号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种太阳能电池成膜用托盘。所述托盘包括盘体，所述盘体上设置有多个用于承载硅片的凹槽单元，所述凹槽单元包括位于其边缘的硅片支撑区以及位于其中部的中空区，所述中空区上跨设有不高于所述硅片支撑区的辅助支撑件，所述辅助支撑件用于辅助支撑硅片且沿着硅片的预设切割线设置，在所述硅片对应制成太阳能电池之后所述预设切割线被切割而使所述太阳能电池相应分成多片。本实用新型可有效减小硅片的下垂量，从而能降低碎片率，避免硅片边缘绕镀、硅片整批报废。 |
