基因测序芯片的微电极及其制备方法、基因测序芯片
基本信息
| 申请号 | CN201911283304.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112986357A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112986357A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | G01N27/327 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 苏云鹏;周大雨;孙纳纳;顾佳烨 | 申请（专利权）人 | 成都今是科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华睿卓成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 彭武 |
| 地址 | 610041 四川省成都市高新区科园南路88号12栋6层601、605号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请实施例公开了一种基因测序芯片的微电极及其制备方法以及基因测序芯片，该微电极包括衬底、在所述衬底上形成的集流体层以及在所述集流体层上形成的电极层，所述集流体层包括过渡金属薄膜或其氮化物薄膜或过渡金属与其氮化物的复合薄膜，所述电极层包括在所述过渡金属薄膜或其氮化物薄膜或过渡金属与其氮化物的复合薄膜上形成的所述过渡金属的氮氧化物薄膜。本申请实施例提高了基因测序芯片中微电极的单位面积电压驱动能力，能够满足超高循环次数的要求，提高了基因测序芯片的通量和稳定性。 |
