微流控芯片及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201911022371.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112705279A | 公开（公告）日 | 2021-04-27 |
| 申请公布号 | CN112705279A | 申请公布日 | 2021-04-27 |
| 分类号 | B01L3/00 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 苏云鹏;邹耀中;邓杨;江鹏;顾佳烨 | 申请（专利权）人 | 成都今是科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华睿卓成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 彭武 |
| 地址 | 610041 四川省成都市高新区科园南路88号12栋6层601、605号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开实施例提出一种微流控芯片及其制备方法，该微流控芯片的芯片单元包括：CMOS衬底；形成于该CMOS衬底之上的微电极层；形成于该CMOS衬底之上并覆盖该微电极层的亲水层；形成于该亲水层之上的亲脂层；该亲脂层和亲水层具有从该亲脂层的顶部贯穿至该微电极层的上表面的孔。本公开实施例既能保证水溶液的润湿，实现电路导通，同时能保证有机双性分子实现自组装，实现高的良率，并且可以实现在单个芯片中设置千万级单元的可能，同时兼容CMOS工艺，可以提高量产精度控制，降低量产成本。 |
